【会員限定】 「世界初、最小可測粒径10 nmの超純水中粒子汚染管理」コンタミネーションコントロール部会(2017年4月14日)より -IDEMA JAPAN-

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2017年05月22日(月)

【会員限定】 「世界初、最小可測粒径10 nmの超純水中粒子汚染管理」コンタミネーションコントロール部会(2017年4月14日)より

半導体業界は、近年の著しいデバイスの小型化と高集積化に伴い、製造プロセスで用いられる水質管理基準に対する厳しさが増して来ており、そのために超純水中の不純物検出において、より一層の高精度化を求められている。 これまで本業界における微粒子汚染における最小可測粒径は20 nm(0.02 μm)が限界とされていたが、我々はこれまで用いられていた測定原理とは全く異なる新技術を打ち出し、世界初の最小粒径感度10 nm(0.01 μm)を計測することのできる「走査型液中ナノパーティクルカウンター ScanningTPC(以下ScanningTPC)」の開発を行ってきた。この技術に基づけば、半導体製造工程において歩留りに影響する汚染粒子を、より高いレベルで測定管理することが可能になることが期待できる。ScanningTPCはじめ、その関連製品及び技術について紹介する。